Quin és el millor material per utilitzar per a l'anell de retenció de CMP

Quin és el millor material per utilitzar per a l'anell de retenció de CMP?

Les hòsties de silici són hòsties de silici utilitzades en la producció de circuits de semiconductors de silici, i després un procés de poliment mecànic en el procés de producció de les hòsties de silici i és un enllaç molt important, normalment escoltem unes polzades de hòsties, que representa el diàmetre més gran del diàmetre de la Herada de silici, millor serà el rendiment d'aquesta hòstia de silici, més forta serà la realització de la força tècnica, de manera que en el procés de producció de les hòsties, la taxa de rendiment s'ha convertit en una condició molt important, que per als requisits de poliment de superfície de les hòsties també augmenten, CMP El procés de polit també és cada cop més sofisticat, de manera que el procés de polit

Durant el procés de poliment de les hòsties, l’anell de conservació de CMP ha de contenir l’hòstia durant el procés de poliment. Durant el procés de poliment, s’afegeixen diferents productes químics i aquests líquids poden corroir els components polits, de manera que requereix que l’anell de retenció de CMP pugui suportar certes càrregues mecàniques, bona flexibilitat i resistència a la corrosió i altres característiques.

En resum, per fabricar anells de retenció de CMP, necessitem processadors per tenir una precisió de processament molt elevada i una estabilitat dimensional per reduir el rascat de les hòsties més endavant.

Normalment escollim dos plàstics d’enginyeria especial: PPS i mireu per processar i produir anells de retenció de CMP.

El material PPS es caracteritza per una gran resistència al desgast, una bona resistència química i una resistència al dissolvent, així com bones propietats de fricció, tipus de material net de gran quantitat, no contaminaran la hòstia, en comparació amb l’anell fix CMP PEEK, el cost fix de l’anell fix PPS és inferior, i ha format una cadena industrial completa, amb la família destaca el rendiment del cost.

L’anell de retenció PEEK CMP té un coeficient de fricció més elevat, en comparació amb el rendiment de fricció de retenció de l’anell de retenció de l’anell CMP PPS, és més excel·lent, té una resistència química més completa i estable, una gamma més àmplia de resistència a la temperatura d’alta temperatura, de manera que l’anell de retenció de CMP PEEK en el llarg. L’entorn de mecanitzat d’alta resistència a terme més estable, en temps relatiu, les mateixes condicions laborals, més llargues, però el cost també serà més elevat en comparació amb alguns.